Tecnologia de Micro e Nanofabricação
Código
10547
Unidade Orgânica
Faculdade de Ciências e Tecnologia
Departamento
Departamento de Ciências dos Materiais
Créditos
3.0
Professor responsável
Elvira Maria Correia Fortunato
Horas semanais
4
Total de horas
52
Língua de ensino
Português
Objectivos
A disciplina de Tecnologia de Micro e Nanofabricação (TMN) tem como objectivo introduzir as diferentes tecnologias relacionadas com a Micro e Nanofabricação aos alunos do Mestrado Integrado em Engenharia Física. Para além de uma introdução genérica sobre a problemática da nanotecnologia são também abordadas as técnicas de processamento assim como algumas das aplicações mais relevantes existentes actualmente com exemplos práticos.
Pré-requisitos
Conhecimentos básicos de Física, Química e Matemática.
Conteúdo
Aulas teórico/práticas
• Introdução: A importância da nanotecnologia e a evolução da miniaturização;
• Litografia;
• Erosão seca (técnicas subtractivas);
• CVD e PVD (técnicas aditivas);
• Técnicas de Micro e Nanofabricação (aplicação a MEMS e NEMS);
Aulas laboratório
Trabalho 1 – Técnica de fotolitografia (top-down)
Trabalho 2 – Tecnologia Lab-on-Paper
Trabalho 3 – Síntese de nanoestruturas de ZnO com aplicação em sensores de UV em papel
Trabalho 4 – Síntese de NPs de prata (bottom-up)
Bibliografia
- Marc J. Madou "Fundamentals of Nanofabrication", 2nd Edition, CRC Press (2002).
- Elementos fornecidos nas aulas.
Método de ensino
Os conteúdos programáticos da UC serão leccionados de acordo com um método expositivo (com a apresentação de diapositivos/Datashow), promovendo a interacção, o diálogo orientado e a discussão com os alunos nas aulas, dinamizando a acção pedagógica. As aulas teóricas serão complementadas com a realização laboratorial de 4 trabalhos práticos, promovendo desta forma uma forte ligação entre a teoria e a prática.
Método de avaliação
A avaliação da disciplina face ao carácter experimental que apresenta, encontra-se dividida em duas partes:
50% Nota teste
50% Nota 4 mini relatórios incluindo a discussão oral sob a forma de apresentação